气瓶架Gas Rack
◆ 相关功能：
1、双瓶自动切换，连续不间断的供气；
2、压力调节，将气体压力从钢瓶压力减压至工艺所需要的压力，稳定压力、稳定流量；
3、气体净化置换（高纯氮气吹扫+抽真空）。
◆ 输送介质：
N2、O2、Ar等惰性气体。
◆ 配置描述：
过滤器、PSG、PT等。
◆ 相关功能：
1、双瓶自动切换，连续不间断的供气；
2、压力调节，将气体压力从钢瓶压力减压至工艺所需要的压力，稳定压力、稳定流量；
3、气体净化置换（高纯氮气吹扫+抽真空）。
◆ 输送介质：
N2、O2、Ar等惰性气体。
◆ 配置描述：
过滤器、PSG、PT等。
